用 途
干涉顯微鏡是用來測(cè)量精密加工零件表面（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器。也可以用來測(cè)量零件表面刻線、刻槽鍍層（透明）等深度。
儀器配以各種附件，還能測(cè)量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面。同時(shí)還能將儀器安置在工件上，對(duì)大型工件表面進(jìn)行測(cè)量。
儀器測(cè)量表面不平深度范圍為1 ～0.03微米，用測(cè)微目鏡和照相方法來評(píng)定▽10～▽14光潔度的表面。
本儀器適用于廠礦企業(yè)計(jì)量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學(xué)研究的單位。
技術(shù)參數(shù)
測(cè)量表面光潔度范圍 ▽10~▽14 （相當(dāng)于測(cè)量表面不平深度范圍為1~0.03微米）
工作物鏡的數(shù)值孔徑 0.65
工作距離 0.5毫米
儀器的視場(chǎng) 目視 Ø0.25毫米
照相 0.21*0.15毫米
儀器的放大倍數(shù) 目視 500倍
照相 168倍
測(cè)微目鏡放大倍數(shù) 12.5倍
測(cè)微鼓分劃值 0.01毫米
綠色干涉濾色片波長(zhǎng) λ≈5300Å
半寬度 ▽λ≈100Å
工作臺(tái)升程 5毫米
X.Y方向移動(dòng)范圍 ≈10毫米
旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)范圍 360°
可調(diào)變壓器輸入電壓 220或110V
輸出電壓（可調(diào)） 4V-6V
儀器鏡 高反射率 ≈50%
低反射率 ≈4%
儀器外形尺寸 270*160*230毫米
儀器本體重 ≈5公斤
儀器成套性
1.儀器主體 1件
2.12.5X測(cè)微目鏡 1件
3.狹縫目鏡 1件
4.V型塊 1件
5.6伏、5瓦燈泡 6只
6.可調(diào)變壓器220/4伏～6伏 1件
7.試樣夾 1件
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